US 9291915 B2 , Benyújtás
éve (szabadalom): 2011 , Benyújtás száma: US
14/240,170, NSZO: G03F7/168; G03F7/70408 , Benyújtás országa: Amerikai Egyesült Államok
Közlemény:2803085
Egyeztetett
Forrás Oltalmi
formák (Nemzetközi szabadalom ) Tudományos
Nemzetközi szabadalom (Oltalmi formák) | Tudományos[2803085] [Egyeztetett]