https://m2.mtmt.hu/ hun 2026-05-17 17:53 JournalArticle 35751036 VALIDATED true 0 false 2026-05-16T19:38:59.230+0000 2026-01-07T11:35:03.636+0000 2025-02-10T18:03:53.213+0000 true 10026837 Baji Zsófia /api/author/10026837 Author Baji Zsófia (Anyagtudomány) true 10026837 2026-01-07T02:51:43.269+0000 2026-01-07T11:35:03.643+0000 true 10014559 Bolgár Andrea /api/admin/10014559 Admin Bolgár Andrea (MFA admin 4) true 10014559 Admin 10013962 /api/admin/10013962 Vasvari Lilian (MTMT Központ, admin) Vasvari Lilian true 10013962 true 2026-05-16T19:37:42.358+0000 true false true 24 24 /api/publicationtype/24 PublicationType Folyóiratcikk 1 true 24 JournalArticle true 10000059 Article true 24 24 /api/publicationtype/24 PublicationType Folyóiratcikk 1 true 24 JournalArticle /api/subtype/10000059 Szakcikk SubType Szakcikk (Folyóiratcikk) 101 true 10000059 true 1 /api/category/1 Category Tudományos true 1 Baji, Zsófia true true /api/journal/2929 REVIEWED JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS 0734-2101 1520-8559 true false 2929 false 2929 true 0734-2101 1520-8559 Journal FOREIGN 43 2 022405 022405 15 2025 The present paper reports on the atomic layer deposition of vanadium sulfide (VS) layers from tetrakis(ethylmethylamino)vanadium and H2S. The deposition of VS layers with these precursors has proven possible between 200 and 300 °C. The prepared layers were amorphous, but a postdeposition annealing in H2S atmosphere yielded crystalline VS layers. The use of this precursor combination has so far not been reported. true true 2025 true true true false false RESTRICTED 2026-05-16 false 1 0 1 0 0 1 1 1 1 1 1 0 0 0 1 0 1 0 1 0 0 0 0 Folyóiratcikk Journal Article 24 1 Könyvrészlet Chapter in Book 25 0 Könyv Book 23 0 Egyéb konferenciaközlemény Conference paper 31 0 Egyéb konferenciakötet Conference proceedings 32 0 Oltalmi formák Protection forms 26 0 Disszertáció Thesis 28 0 Egyéb Miscellaneous 29 0 Alkotás Achievement 22 0 Kutatási adat Research data 33 0 Folyóiratcikk Journal Article 24 0 0 0 Könyvrészlet Chapter in Book 25 0 0 0 Könyv Book 23 0 0 0 Egyéb konferenciaközlemény Conference paper 31 0 0 0 Egyéb konferenciakötet Conference proceedings 32 0 0 0 Oltalmi formák Protection forms 26 0 0 0 Disszertáció Thesis 28 0 0 0 Egyéb Miscellaneous 29 0 0 0 Alkotás Achievement 22 0 0 0 Kutatási adat Research data 33 0 0 0 2025 0 1 0 1 0 Q2 false false false false 2025-02-20T05:45:22.502+0000 Mikrorendszerek Laboratórium (HUN-REN EK / MFA); Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet (HUN-REN EK); Nanoszerkezetek Laboratórium (HUN-REN EK / MFA); Nanoérzékelők Laboratórium (HUN-REN EK / MFA); Vékonyrétegfizika Laboratórium (HUN-REN EK / MFA) 5 23 5 5 0 true 10013962 Language 10002 /api/language/10002 Angol Angol English true 2 true PersonAuthorship 123232263 /api/authorship/123232263 Baji, Zsófia [Baji, Zsófia (Anyagtudomány), szerző] Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet (HUN-REN EK); Nanoérzékelők Laboratórium (HUN-REN EK / MFA) 1 0.2 true false false Author 10026837 /api/author/10026837 Baji Zsófia (Anyagtudomány) Baji Zsófia true 10026837 true Baji Zsófia true false false AuthorshipType 1 /api/authorshiptype/1 Szerző 0 true 0 true false true PersonAuthorship 123232264 /api/authorship/123232264 Fogarassy, Zsolt [Fogarassy, Zsolt (Anyagfizika), szerző] Vékonyrétegfizika Laboratórium (HUN-REN EK / MFA) 2 0.2 false false false Author 10026942 /api/author/10026942 Fogarassy Zsolt (Anyagfizika) Fogarassy Zsolt true 10026942 true Fogarassy Zsolt true false false AuthorshipType 1 /api/authorshiptype/1 Szerző 0 true 0 true false true PersonAuthorship 123232265 /api/authorship/123232265 Sulyok, Attila [Sulyok, Attila (Felület fizika), szerző] Vékonyrétegfizika Laboratórium (HUN-REN EK / MFA) 3 0.2 false false false Author 10002024 /api/author/10002024 Sulyok Attila (Felület fizika) Sulyok Attila true 10002024 true Sulyok Attila true false false AuthorshipType 1 /api/authorshiptype/1 Szerző 0 true 0 true false true PersonAuthorship 123232266 /api/authorship/123232266 Horváth, Zsolt Endre [Horváth, Zsolt Endre (Szilárdtestfizika), szerző] Nanoszerkezetek Laboratórium (HUN-REN EK / MFA) 4 0.2 false false false Author 10001480 /api/author/10001480 Horváth Zsolt Endre (Szilárdtestfizika) Horváth Zsolt Endre true 10001480 true Horváth Zsolt Endre true false false AuthorshipType 1 /api/authorshiptype/1 Szerző 0 true 0 true false true PersonAuthorship 123232267 /api/authorship/123232267 Szabó, Zoltán [Szabó, Zoltán (szilárdtestfizika), szerző] Mikrorendszerek Laboratórium (HUN-REN EK / MFA) 5 0.2 false true false Author 10040215 /api/author/10040215 Szabó Zoltán (szilárdtestfizika) Szabó Zoltán true 10040215 true Szabó Zoltán true false false AuthorshipType 1 /api/authorshiptype/1 Szerző 0 true 0 true false true PublicationIdentifier 28378202 /api/publicationidentifier/28378202 DOI: 10.1116/6.0004127 PlainSource 6 /api/publicationsource/6 DOI PublicationSourceType 10001 /api/publicationsourcetype/10001 DOI true true true DOI DOI https://doi.org/@@@ true true 6 true IDENTICAL 10.1116/6.0004127 https://doi.org/10.1116/6.0004127 false true PublicationIdentifier 28449717 /api/publicationidentifier/28449717 REAL: 215861 SwordSource 36 /api/publicationsource/36 REAL PublicationSourceType 10007 /api/publicationsourcetype/10007 Repozitórium true true true REAL REAL http://real.mtak.hu/@@@ true true 36 true RESTRICTED IDENTICAL 215861 http://real.mtak.hu/215861 false true PublicationIdentifier 28481308 /api/publicationidentifier/28481308 WoS: 001418763500002 PlainSource 1 /api/publicationsource/1 WoS PublicationSourceType 10003 /api/publicationsourcetype/10003 Indexelő adatbázis false true true WoS WoS https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/@@@ true true 1 true IDENTICAL 001418763500002 https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/001418763500002 false true PublicationIdentifier 28449428 /api/publicationidentifier/28449428 Scopus: 85217559266 PlainSource 3 /api/publicationsource/3 Scopus PublicationSourceType 10003 /api/publicationsourcetype/10003 Indexelő adatbázis false true true Scopus Scopus http://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-@@@ true true 3 true IDENTICAL 85217559266 http://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85217559266 false true PublicationIdentifier 29173457 /api/publicationidentifier/29173457 Google scholar: 1737744912038026868 PlainSource 12 /api/publicationsource/12 Google scholar PublicationSourceType 10003 /api/publicationsourcetype/10003 Indexelő adatbázis false true true Google scholar http://scholar.Google.com/scholar?hl=en&lr=&cluster=@@@ true true 12 true IDENTICAL 1737744912038026868 http://scholar.Google.com/scholar?hl=en&lr=&cluster=1737744912038026868 false true Classification 11423 /api/classification/11423 Anyagtudományi / Anyagtechnológiai folyamatok true true Classification 10154 /api/classification/10154 Fizika true true SjrRating 11569586 /api/sjrrating/11569586 sjr:Q2 (2025) Scopus - Condensed Matter Physics JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS 0734-2101 1520-8559 217 0.49 journal RatingType 10002 /api/ratingtype/10002 sjr sjr true true ClassificationExternal 3104 /api/classificationexternal/3104 Scopus - Condensed Matter Physics true 3104 true Q2 DIRECT true true Reference 63272517 /api/reference/63272517 1. 2020: 2D Mater., 7, p. 022003, DOI: 10.1088/2053-1583/ab6267 1 10.1088/2053-1583/ab6267 false true Reference 63272518 /api/reference/63272518 2. 2010: Phys. Rev. Lett., 105, p. 136805, DOI: 10.1103/PhysRevLett.105.136805 2 10.1103/PhysRevLett.105.136805 false true Reference 63272519 /api/reference/63272519 3. 2017: 2D Materials Properties and Devices 3 false true Reference 63272520 /api/reference/63272520 4. 2018: ACS Appl. Energ. Mater., 1, p. 2333, DOI: 10.1021/acsaem.8b00449 4 10.1021/acsaem.8b00449 false true Reference 63272521 /api/reference/63272521 5. 2018: 2D Mater., 5, p. 045009, DOI: 10.1088/2053-1583/aad0c8 5 10.1088/2053-1583/aad0c8 false true Reference 63272522 /api/reference/63272522 6. 2024: J. Ind. Eng. Chem., 129, p. 124, DOI: 10.1016/j.jiec.2023.09.004 6 10.1016/j.jiec.2023.09.004 false true Reference 63272523 /api/reference/63272523 7. 2024: ACS Nano, 18, p. 14161, DOI: 10.1021/acsnano.3c05907 7 10.1021/acsnano.3c05907 false true Reference 63272524 /api/reference/63272524 8. 1974: J. Chem. Phys., 60, p. 1113, DOI: 10.1063/1.1681122 8 10.1063/1.1681122 false true Reference 63272525 /api/reference/63272525 9. Avouris 2017: Synthesis of transition metal dichalcogenides., 2D Materials: Properties and Devices, p. 344, DOI: 10.1017/9781316681619 9 10.1017/9781316681619 false true Reference 63272526 /api/reference/63272526 10. 2015: Acc. Chem. Res., 48, p. 341, DOI: 10.1021/ar500360d 10 10.1021/ar500360d false true Reference 63272527 /api/reference/63272527 11. 2020: Matter, 2, p. 587, DOI: 10.1016/j.matt.2019.12.026 11 10.1016/j.matt.2019.12.026 false true Reference 63272528 /api/reference/63272528 12. 2021: Adv. Mater., 33, p. 2005907, DOI: 10.1002/adma.202005907 12 10.1002/adma.202005907 false true Reference 63272529 /api/reference/63272529 13. 2020: J. Mater. Chem. A, 8, p. 20781, DOI: 10.1039/D0TA07436E 13 10.1039/D0TA07436E false true Reference 63272530 /api/reference/63272530 14. 2019: Nat. Commun., 10, p. 1764, DOI: 10.1038/s41467-019-09400-w 14 10.1038/s41467-019-09400-w false true Reference 63272531 /api/reference/63272531 15. 2017: Chem. Mater., 29, p. 2864, DOI: 10.1021/acs.chemmater.6b05084 15 10.1021/acs.chemmater.6b05084 false true Reference 63272532 /api/reference/63272532 16. 2024: Small Struct., 5, p. 2300512, DOI: 10.1002/sstr.202300512 16 10.1002/sstr.202300512 false true Reference 63272533 /api/reference/63272533 17. 2022: Chem. Mater., 34, p. 7280, DOI: 10.1021/acs.chemmater.2c01154 17 10.1021/acs.chemmater.2c01154 false true Reference 63272534 /api/reference/63272534 18. 2018: Angew. Chem. Int. Ed., 57, p. 5898, DOI: 10.1002/anie.201803092 18 10.1002/anie.201803092 false true Reference 63272535 /api/reference/63272535 19. 2010: Rev. Sci. Instrum., 81, p. 044102, DOI: 10.1063/1.3384349 19 10.1063/1.3384349 false true Reference 63272536 /api/reference/63272536 20. 2020: Chem. Mater., 32, p. 8885, DOI: 10.1021/acs.chemmater.0c02505 20 10.1021/acs.chemmater.0c02505 false true /api/publication/35751036 Baji Zsófia et al. Novel precursor for the preparation of vanadium sulfide layers with atomic layer deposition. (2025) JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS 0734-2101 1520-8559 43 2<div class="JournalArticle Publication long-list"> <div class="authors"> <img title="Forrásközlemény" style="float: left" src="/frontend/resources/grid/publication-core-icon.png"> <div class="autype autype0"> <span class="author-name" mtid="10026837"><a href="/gui2/?type=authors&mode=browse&sel=10026837" target="_blank">Baji Zsófia (<span class="authorship-author-name">Baji Zsófia</span> <span class="authorAux-mtmt"> Anyagtudomány</span>) </a> </span> <span class="author-affil"><span title="HUN-REN Energiatudományi Kutatóközpont">HUN-REN EK</span>/Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet; <span title="HUN-REN Energiatudományi Kutatóközpont">HUN-REN EK</span>/<span title="Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet">MFA</span>/Nanoérzékelők Laboratórium</span> ;&nbsp;&nbsp;&nbsp; <span class="author-name" mtid="10026942"><a href="/gui2/?type=authors&mode=browse&sel=10026942" target="_blank">Fogarassy Zsolt (<span class="authorship-author-name">Fogarassy Zsolt</span> <span class="authorAux-mtmt"> Anyagfizika</span>) </a> </span> <span class="author-affil"><span title="HUN-REN Energiatudományi Kutatóközpont">HUN-REN EK</span>/<span title="Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet">MFA</span>/Vékonyrétegfizika Laboratórium</span> ;&nbsp;&nbsp;&nbsp; <span class="author-name" mtid="10002024"><a href="/gui2/?type=authors&mode=browse&sel=10002024" target="_blank">Sulyok Attila (<span class="authorship-author-name">Sulyok Attila</span> <span class="authorAux-mtmt"> Felület fizika</span>) </a> </span> <span class="author-affil"><span title="HUN-REN Energiatudományi Kutatóközpont">HUN-REN EK</span>/<span title="Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet">MFA</span>/Vékonyrétegfizika Laboratórium</span> ;&nbsp;&nbsp;&nbsp; <span class="author-name" mtid="10001480"><a href="/gui2/?type=authors&mode=browse&sel=10001480" target="_blank">Horváth Zsolt Endre (<span class="authorship-author-name">Horváth Zsolt Endre</span> <span class="authorAux-mtmt"> Szilárdtestfizika</span>) </a> </span> <span class="author-affil"><span title="HUN-REN Energiatudományi Kutatóközpont">HUN-REN EK</span>/<span title="Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet">MFA</span>/Nanoszerkezetek Laboratórium</span> ;&nbsp;&nbsp;&nbsp; <span class="author-name" mtid="10040215"><a href="/gui2/?type=authors&mode=browse&sel=10040215" target="_blank">Szabó Zoltán (<span class="authorship-author-name">Szabó Zoltán</span> <span class="authorAux-mtmt"> szilárdtestfizika</span>) </a> </span> <span class="author-affil"><span title="HUN-REN Energiatudományi Kutatóközpont">HUN-REN EK</span>/<span title="Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet">MFA</span>/Mikrorendszerek Laboratórium</span> </div> </div> <div class="title"><a href="/gui2/?mode=browse&params=publication;35751036" target="_blank">Novel precursor for the preparation of vanadium sulfide layers with atomic layer deposition</a></div> <div> <span class="journal-title">JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS</span> <span class="journal-issn">(<a target="_blank" href="https://portal.issn.org/resource/ISSN/0734-2101">0734-2101</a> <a target="_blank" href="https://portal.issn.org/resource/ISSN/1520-8559">1520-8559</a>)</span>: <span class="journal-volume">43</span> <span class="journal-issue">2</span> <span class="page"> Paper 022405. 15 p. </span> <span class="year">(2025)</span> </div> <div class="pub-footer"> <span class="language" xmlns="http://www.w3.org/1999/html">Nyelv: Angol | </span> <span class="identifiers"> <span class="id identifier oa_none" title="none"> <a style="color:blue" title="10.1116/6.0004127" target="_blank" href="https://doi.org/10.1116/6.0004127"> DOI </a> </span> <span class="id identifier oa_RESTRICTED" title=" Korlátozott "> <a style="color:blue" title="215861" target="_blank" href="http://real.mtak.hu/215861"> REAL </a> </span> <span class="id identifier oa_none" title="none"> <a style="color:blue" title="001418763500002" target="_blank" href="https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/001418763500002"> WoS </a> </span> <span class="id identifier oa_none" title="none"> <a style="color:blue" title="85217559266" target="_blank" href="http://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85217559266"> Scopus </a> </span> <span class="id identifier oa_none" title="none"> <a style="color:blue" title="1737744912038026868" target="_blank" href="http://scholar.Google.com/scholar?hl=en&lr=&cluster=1737744912038026868"> Google scholar </a> </span> </span> <OnlyViewableByAuthor><div class="ratings"> <div class="journal-subject">Folyóirat szakterülete: Scopus - Condensed Matter Physics&nbsp;&nbsp;&nbsp;SJR indikátor:&nbsp;Q2</div> <div class="journal-subject">Folyóirat szakterülete: Scopus - Surfaces, Coatings and Films&nbsp;&nbsp;&nbsp;SJR indikátor:&nbsp;Q2</div> <div class="journal-subject">Folyóirat szakterülete: Scopus - Surfaces and Interfaces&nbsp;&nbsp;&nbsp;SJR indikátor:&nbsp;Q3</div> </div></OnlyViewableByAuthor> <div class="publication-citation" style="margin-left: 0.5cm;"> <span title="Nyilvános idézőközlemények összesen, említések nélkül" class="citingPub-count">Nyilvános idéző összesen: 1</span> | Független: 0 | Függő: 1 | Nem jelölt: 0 | WoS jelölt: 1 | Scopus jelölt:&nbsp;1 | WoS/Scopus jelölt:&nbsp;1 | DOI jelölt:&nbsp;1 </div> <div class="mtid"><span class="long-pub-mtid">Közlemény: 35751036</span> | <span class="status-data status-VALIDATED"> Egyeztetett </span> Forrás | <span class="type-subtype">Folyóiratcikk ( Szakcikk ) </span> | <span class="pub-category">Tudományos</span> | <span class="publication-sourceOfData">kézi felvitel</span> </div> <div class="lastModified">Utolsó módosítás: 2026.01.07. 12:35 Bolgár Andrea (MFA admin 4) </div> <div class="lockedBy">Központi kezelésű 2026.05.16. 21:37 Vasvari Lilian (MTMT Központ, admin) </div> </div></div>