Structure, mechanical and tribological properties of Ta-xN coatings deposited by reactive HiTUS

Lofaj, František; Kabátová, Margita; Kvetková, Lenka; Lisnichuk, Maksym; Albov, Dmitry; Jenei, Péter [Jenei, Péter (Anyagfizika), szerző] Anyagfizikai Tanszék (ELTE / TTK / FizCsill_I); Gubicza, Jenő [Gubicza, Jenő (Szilárdtestfizika...), szerző] Anyagfizikai Tanszék (ELTE / TTK / FizCsill_I)