ADVANCES IN RESIST TECHNOLOGY AND PROCESSING XXII, PT 1 AND 2

Sturtevant, JL [szerk.]

Angol nyelvű Konferenciakötet (Könyv) Tudományos
Megjelent: International Society for Optical Engineering (SPIE), Bellingham (WA), Amerikai Egyesült Államok 2005
Konferencia: Conference on Advances in Resist Technology and Processing XXII 2005-02-28 [San Jose (CA), Amerikai Egyesült Államok]
Sorozatok: Proceedings of SPIE 0277-786X 1996-756X
    Azonosítók
    Fejezetek
    Hivatkozás stílusok: IEEEACMAPAChicagoHarvardCSLMásolásNyomtatás
    2025-04-16 21:18