Cross sectional complex structure analysis is a key issue of thin film research: A case study on the preferential orientation crossover in TiN thin films

https://m2.mtmt.hu/ hun 2026-04-30 05:40 JournalArticle 30774797 VALIDATED true 0 false 2026-03-06T10:04:57.206+0000 2025-07-12T10:03:03.145+0000 2019-08-28T07:57:10.141+0000 true 10019782 Csámer Iván /api/admin/10019782 Admin Csámer Iván (ELTE TTK kari admin 5) true 10019782 2025-10-15T09:41:19.800+0000 2025-10-15T09:41:19.800+0000 2025-04-03T09:30:57.704+0000 true 10014559 Bolgár Andrea /api/admin/10014559 Admin Bolgár Andrea (MFA admin 4) true 10014559 true false true 24 24 /api/publicationtype/24 PublicationType Folyóiratcikk 1 true 24 JournalArticle true 10000059 Article true 24 24 /api/publicationtype/24 PublicationType Folyóiratcikk 1 true 24 JournalArticle /api/subtype/10000059 Szakcikk SubType Szakcikk (Folyóiratcikk) 101 true 10000059 true 1 /api/category/1 Category Tudományos true 1 Barna, P.B. Cross sectional complex structure analysis is a key issue of thin film research: A case study on the preferential orientation crossover in TiN thin films true true /api/journal/1313615 REVIEWED THIN SOLID FILMS 0040-6090 1879-2731 true false 1313615 false 1313615 true 0040-6090 1879-2731 Journal FOREIGN 688 137478 137478 6 2019 2019 true true true false true false CLOSED 2026-03-06 false 4 0 4 2 2 3 4 3 4 4 4 2 2 2 2 0 4 2 4 2 0 12 12 Folyóiratcikk Journal Article 24 4 Könyvrészlet Chapter in Book 25 0 Könyv Book 23 0 Egyéb konferenciaközlemény Conference paper 31 0 Egyéb konferenciakötet Conference proceedings 32 0 Oltalmi formák Protection forms 26 0 Disszertáció Thesis 28 0 Egyéb Miscellaneous 29 0 Alkotás Achievement 22 0 Kutatási adat Research data 33 0 Folyóiratcikk Journal Article 24 0 0 0 Könyvrészlet Chapter in Book 25 0 0 0 Könyv Book 23 0 0 0 Egyéb konferenciaközlemény Conference paper 31 0 0 0 Egyéb konferenciakötet Conference proceedings 32 0 0 0 Oltalmi formák Protection forms 26 0 0 0 Disszertáció Thesis 28 0 0 0 Egyéb Miscellaneous 29 0 0 0 Alkotás Achievement 22 0 0 0 Kutatási adat Research data 33 0 0 0 2020 0 3 2 3 2 2021 0 1 0 1 0 Q2 false 10007301,10001797 false false false 2019-09-12T11:15:57.255+0000 Bio-nanotechnológiai és Műszaki Kémiai Kutatóin... (PE / MK); Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet (HUN-REN EK); Nanoszerkezetek Laboratórium (HUN-REN EK / MFA); Vékonyrétegfizika Laboratórium (HUN-REN EK / MFA); Ásványtani Tanszék (ELTE / TTK / Ft_K) 8 32 5 10 0 true Language 10002 /api/language/10002 Angol Angol English true 2 true PersonAuthorship 87918823 /api/authorship/87918823 Barna, P.B. [Barna B., Péter (Kísérleti fizika,...), szerző] Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet (HUN-REN EK); Vékonyrétegfizika Laboratórium (HUN-REN EK / MFA) 1 0.1 true false false Author 10005645 /api/author/10005645 Barna B. Péter (Kísérleti fizika, szilárdtestfizika, anyagtudomány) Barna B. Péter true 10005645 true Barna P.B. true false false AuthorshipType 1 /api/authorshiptype/1 Szerző 0 true 0 true false true PersonAuthorship 87768047 /api/authorship/87768047 Biro, D. 2 0.1 false false false Biro D. true false false AuthorshipType 1 /api/authorshiptype/1 Szerző 0 true 0 true false true PersonAuthorship 87768048 /api/authorship/87768048 Hasaneen, M.F. 3 0.1 false false false Hasaneen M.F. true false false AuthorshipType 1 /api/authorshiptype/1 Szerző 0 true 0 true false true PersonAuthorship 87918824 /api/authorship/87918824 Székely, L. [Székely, Lajos (Vékonyréteg-fizika), szerző] Vékonyrétegfizika Laboratórium (HUN-REN EK / MFA) 4 0.1 false false false Author 10026839 /api/author/10026839 Székely Lajos (Vékonyréteg-fizika) Székely Lajos true 10026839 true Székely L. true false false AuthorshipType 1 /api/authorshiptype/1 Szerző 0 true 0 true false true PersonAuthorship 87918825 /api/authorship/87918825 Menyhárd, M. [Menyhárd, Miklós (Szilárdtestfizika), szerző] Vékonyrétegfizika Laboratórium (HUN-REN EK / MFA) 5 0.1 false false false Author 10001743 /api/author/10001743 Menyhárd Miklós (Szilárdtestfizika) Menyhárd Miklós true 10001743 true Menyhárd M. true false false AuthorshipType 1 /api/authorshiptype/1 Szerző 0 true 0 true false true PersonAuthorship 87918826 /api/authorship/87918826 Sulyok, A. [Sulyok, Attila (Felület fizika), szerző] Vékonyrétegfizika Laboratórium (HUN-REN EK / MFA) 6 0.1 false false false Author 10002024 /api/author/10002024 Sulyok Attila (Felület fizika) Sulyok Attila true 10002024 true Sulyok A. true false false AuthorshipType 1 /api/authorshiptype/1 Szerző 0 true 0 true false true PersonAuthorship 87918827 /api/authorship/87918827 Horváth, Z.E. [Horváth, Zsolt Endre (Szilárdtestfizika), szerző] Nanoszerkezetek Laboratórium (HUN-REN EK / MFA) 7 0.1 false false false Author 10001480 /api/author/10001480 Horváth Zsolt Endre (Szilárdtestfizika) Horváth Zsolt Endre true 10001480 true Horváth Z.E. true false false AuthorshipType 1 /api/authorshiptype/1 Szerző 0 true 0 true false true PersonAuthorship 87768053 /api/authorship/87768053 Pekker, P. [Pekker, Péter (Elektronmikroszkópia), szerző] Bio-nanotechnológiai és Műszaki Kémiai Kutatóin... (PE / MK) 8 0.1 false false false Author 10034356 /api/author/10034356 Pekker Péter (Elektronmikroszkópia) Pekker Péter true 10034356 true Pekker P. true false false AuthorshipType 1 /api/authorshiptype/1 Szerző 0 true 0 true false true PersonAuthorship 87918828 /api/authorship/87918828 Dódony, I. [Dódony, István (Ásványtan, kristá...), szerző] Ásványtani Tanszék (ELTE / TTK / Ft_K) 9 0.1 false false false Author 10007301 /api/author/10007301 Dódony István (Ásványtan, kristálytan) Dódony István true 10007301 true Dódony I. true false false AuthorshipType 1 /api/authorshiptype/1 Szerző 0 true 0 true false true PersonAuthorship 87918829 /api/authorship/87918829 Radnóczi, G. ✉ [Radnóczi, György (Anyagtudomány), szerző] Vékonyrétegfizika Laboratórium (HUN-REN EK / MFA) 10 0.1 false true true Author 10001797 /api/author/10001797 Radnóczi György (Anyagtudomány) Radnóczi György true 10001797 true Radnóczi G. true false false AuthorshipType 1 /api/authorshiptype/1 Szerző 0 true 0 true false true PublicationIdentifier 15838591 /api/publicationidentifier/15838591 DOI: 10.1016/j.tsf.2019.137478 PlainSource 6 /api/publicationsource/6 DOI PublicationSourceType 10001 /api/publicationsourcetype/10001 DOI true true true DOI DOI https://doi.org/@@@ true true 6 true NONE true IDENTICAL 10.1016/j.tsf.2019.137478 https://doi.org/10.1016/j.tsf.2019.137478 false true PublicationIdentifier 15893416 /api/publicationidentifier/15893416 REAL: 99316 SwordSource 36 /api/publicationsource/36 REAL PublicationSourceType 10007 /api/publicationsourcetype/10007 Repozitórium true true true REAL REAL http://real.mtak.hu/@@@ true true 36 true CLOSED IDENTICAL 99316 http://real.mtak.hu/99316 false true PublicationIdentifier 15934543 /api/publicationidentifier/15934543 WoS: 000485256500012 PlainSource 1 /api/publicationsource/1 WoS PublicationSourceType 10003 /api/publicationsourcetype/10003 Indexelő adatbázis false true true WoS WoS https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/@@@ true true 1 true IDENTICAL 000485256500012 https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/000485256500012 true true PublicationIdentifier 15838590 /api/publicationidentifier/15838590 Scopus: 85070814053 PlainSource 3 /api/publicationsource/3 Scopus PublicationSourceType 10003 /api/publicationsourcetype/10003 Indexelő adatbázis false true true Scopus Scopus http://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-@@@ true true 3 true IDENTICAL 85070814053 http://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85070814053 false true PublicationIdentifier 17750060 /api/publicationidentifier/17750060 Google scholar: 6454296684461256563 PlainSource 12 /api/publicationsource/12 Google scholar PublicationSourceType 10003 /api/publicationsourcetype/10003 Indexelő adatbázis false true true Google scholar http://scholar.Google.com/scholar?hl=en&lr=&cluster=@@@ true true 12 true IDENTICAL 6454296684461256563 http://scholar.Google.com/scholar?hl=en&lr=&cluster=6454296684461256563 true true Classification 11079 /api/classification/11079 Anyagok jellemzésére használt módszerek true true Classification 11038 /api/classification/11038 Bevonatok és filmek true true Classification 11040 /api/classification/11040 Felülettudomány és nanotudomány true true Classification 11044 /api/classification/11044 Új anyagok: oxidok, ötvözetek, kompozitok, szerves-szervetlen hibridek, nanorészecskék true true Classification 11039 /api/classification/11039 Vékony filmek true true SjrRating 10795632 /api/sjrrating/10795632 sjr:Q2 (2019) Scopus - Electronic, Optical and Magnetic Materials THIN SOLID FILMS 0040-6090 91 0.49 journal RatingType 10002 /api/ratingtype/10002 sjr sjr true true ClassificationExternal 2504 /api/classificationexternal/2504 Scopus - Electronic, Optical and Magnetic Materials true 2504 true Q2 DIRECT true true /api/publication/30774797 Barna P.B. et al. Cross sectional complex structure analysis is a key issue of thin film research: A case study on the preferential orientation crossover in TiN thin films. (2019) THIN SOLID FILMS 0040-6090 1879-2731 688<div class="JournalArticle Publication long-list"> <div class="authors"> <img title="Forrásközlemény" style="float: left" src="/frontend/resources/grid/publication-core-icon.png"> <img title="Idézőközlemény" style="float: left" src="/frontend/resources/grid/publication-citation-icon.png"> <div class="autype autype0"> <span class="author-name" mtid="10005645"><a href="/gui2/?type=authors&mode=browse&sel=10005645" target="_blank">Barna P.B. (<span class="authorship-author-name">Barna B. Péter</span> <span class="authorAux-mtmt"> Kísérleti fizika, szilárdtestfizika, anyagtudomány</span>) </a> </span> <span class="author-affil"><span title="Energiatudományi Kutatóközpont">EK</span>/Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet; <span title="Energiatudományi Kutatóközpont">EK</span>/<span title="Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet">MFA</span>/Vékonyrétegfizika Laboratórium</span> ;    <span class="author-name" >Biro D. </span> ;    <span class="author-name" >Hasaneen M.F. </span> ;    <span class="author-name" mtid="10026839"><a href="/gui2/?type=authors&mode=browse&sel=10026839" target="_blank">Székely L. (<span class="authorship-author-name">Székely Lajos</span> <span class="authorAux-mtmt"> Vékonyréteg-fizika</span>) </a> </span> <span class="author-affil"><span title="Energiatudományi Kutatóközpont">EK</span>/<span title="Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet">MFA</span>/Vékonyrétegfizika Laboratórium</span> ;    <span class="author-name" mtid="10001743"><a href="/gui2/?type=authors&mode=browse&sel=10001743" target="_blank">Menyhárd M. (<span class="authorship-author-name">Menyhárd Miklós</span> <span class="authorAux-mtmt"> Szilárdtestfizika</span>) </a> </span> <span class="author-affil"><span title="Energiatudományi Kutatóközpont">EK</span>/<span title="Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet">MFA</span>/Vékonyrétegfizika Laboratórium</span> ;    <span class="author-name" mtid="10002024"><a href="/gui2/?type=authors&mode=browse&sel=10002024" target="_blank">Sulyok A. (<span class="authorship-author-name">Sulyok Attila</span> <span class="authorAux-mtmt"> Felület fizika</span>) </a> </span> <span class="author-affil"><span title="Energiatudományi Kutatóközpont">EK</span>/<span title="Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet">MFA</span>/Vékonyrétegfizika Laboratórium</span> ;    <span class="author-name" mtid="10001480"><a href="/gui2/?type=authors&mode=browse&sel=10001480" target="_blank">Horváth Z.E. (<span class="authorship-author-name">Horváth Zsolt Endre</span> <span class="authorAux-mtmt"> Szilárdtestfizika</span>) </a> </span> <span class="author-affil"><span title="Energiatudományi Kutatóközpont">EK</span>/<span title="Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet">MFA</span>/Nanoszerkezetek Laboratórium</span> ;    <span class="author-name" mtid="10034356"><a href="/gui2/?type=authors&mode=browse&sel=10034356" target="_blank">Pekker P. (<span class="authorship-author-name">Pekker Péter</span> <span class="authorAux-mtmt"> Elektronmikroszkópia</span>) </a> </span> <span class="author-affil"><span title="Pannon Egyetem">PE</span>/<span title="Mérnöki Kar">MK</span>/Bio-nanotechnológiai és Műszaki Kémiai Kutatóintézet</span> ;    <span class="author-name" mtid="10007301"><a href="/gui2/?type=authors&mode=browse&sel=10007301" target="_blank">Dódony I. (<span class="authorship-author-name">Dódony István</span> <span class="authorAux-mtmt"> Ásványtan, kristálytan</span>) </a> </span> <span class="author-affil"><span title="Eötvös Loránd Tudományegyetem">ELTE</span>/<span title="Természettudományi Kar">TTK</span>/<span title="Földrajz- és Földtudományi Intézet">FoldrFoldt_I</span>/<span title="Földtudományi Központ">Ft_K</span>/Ásványtani Tanszék</span> ;    <span class="author-name" mtid="10001797"><a href="/gui2/?type=authors&mode=browse&sel=10001797" target="_blank">Radnóczi G. ✉ (<span class="authorship-author-name">Radnóczi György</span> <span class="authorAux-mtmt"> Anyagtudomány</span>) </a> </span> <span class="author-affil"><span title="Energiatudományi Kutatóközpont">EK</span>/<span title="Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet">MFA</span>/Vékonyrétegfizika Laboratórium</span> </div> </div> <div class="title"><a href="/gui2/?mode=browse&params=publication;30774797" target="_blank">Cross sectional complex structure analysis is a key issue of thin film research: A case study on the preferential orientation crossover in TiN thin films</a></div> <div> <span class="journal-title">THIN SOLID FILMS</span> <span class="journal-issn">(<a target="_blank" href="https://portal.issn.org/resource/ISSN/0040-6090">0040-6090</a> <a target="_blank" href="https://portal.issn.org/resource/ISSN/1879-2731">1879-2731</a>)</span>: <span class="journal-volume">688</span> <span class="page"> Paper 137478. 6 p. </span> <span class="year">(2019)</span> </div> <div class="pub-footer"> <span class="language" xmlns="http://www.w3.org/1999/html">Nyelv: Angol | </span> <span class="identifiers"> <span class="id identifier oa_NONE" title=" Nincs "> <a style="color:blue" title="10.1016/j.tsf.2019.137478" target="_blank" href="https://doi.org/10.1016/j.tsf.2019.137478"> DOI </a> </span> <span class="id identifier oa_CLOSED" title=" Zárt "> <a style="color:blue" title="99316" target="_blank" href="http://real.mtak.hu/99316"> REAL </a> </span> <span class="id identifier oa_none" title="none"> <a style="color:blue" title="000485256500012" target="_blank" href="https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/000485256500012"> WoS </a> </span> <span class="id identifier oa_none" title="none"> <a style="color:blue" title="85070814053" target="_blank" href="http://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85070814053"> Scopus </a> </span> <span class="id identifier oa_none" title="none"> <a style="color:blue" title="6454296684461256563" target="_blank" href="http://scholar.Google.com/scholar?hl=en&lr=&cluster=6454296684461256563"> Google scholar </a> </span> </span> <OnlyViewableByAuthor><div class="ratings"> <div class="journal-subject">Folyóirat szakterülete: Scopus - Electronic, Optical and Magnetic Materials   SJR indikátor: Q2</div> <div class="journal-subject">Folyóirat szakterülete: Scopus - Materials Chemistry   SJR indikátor: Q2</div> <div class="journal-subject">Folyóirat szakterülete: Scopus - Metals and Alloys   SJR indikátor: Q2</div> <div class="journal-subject">Folyóirat szakterülete: Scopus - Surfaces and Interfaces   SJR indikátor: Q2</div> <div class="journal-subject">Folyóirat szakterülete: Scopus - Surfaces, Coatings and Films   SJR indikátor: Q2</div> </div></OnlyViewableByAuthor> <div class="publication-citation" style="margin-left: 0.5cm;"> <span title="Nyilvános idézőközlemények összesen, említések nélkül" class="citingPub-count">Nyilvános idéző összesen: 4</span> | Független: 2 | Függő: 2 | Nem jelölt: 0 | WoS jelölt: 3 | Scopus jelölt: 4 | WoS/Scopus jelölt: 4 | DOI jelölt: 4 </div> <div class="publication-citation"> <a target="_blank" href="/api/publication?cond=citations.related;eq;30774797&sort=publishedYear,desc&sort=title"> Idézett közlemények száma: 12 </a> </div> <div class="mtid"><span class="long-pub-mtid">Közlemény: 30774797</span> | <span class="status-data status-VALIDATED"> Egyeztetett </span> Forrás Idéző | <span class="type-subtype">Folyóiratcikk ( Szakcikk ) </span> | <span class="pub-category">Tudományos</span> | <span class="publication-sourceOfData">Scopus (scopus (63).ris, 2019-08-28)</span> </div> <div class="lastModified">Utolsó módosítás: 2025.07.12. 12:03 Bolgár Andrea (MFA admin 4) </div> </div></div>