Cross sectional complex structure analysis is a key issue of thin film research: A case study on the preferential orientation crossover in TiN thin films

Barna, P.B. [Barna B., Péter (Kísérleti fizika,...), szerző] Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet (HUN-REN EK); Vékonyrétegfizika Laboratórium (HUN-REN EK / MFA); Biro, D.; Hasaneen, M.F.; Székely, L. [Székely, Lajos (Vékonyréteg-fizika), szerző] Vékonyrétegfizika Laboratórium (HUN-REN EK / MFA); Menyhárd, M. [Menyhárd, Miklós (Szilárdtestfizika), szerző] Vékonyrétegfizika Laboratórium (HUN-REN EK / MFA); Sulyok, A. [Sulyok, Attila (Felület fizika), szerző] Vékonyrétegfizika Laboratórium (HUN-REN EK / MFA); Horváth, Z.E. [Horváth, Zsolt Endre (Szilárdtestfizika), szerző] Nanoszerkezetek Laboratórium (HUN-REN EK / MFA); Pekker, P. [Pekker, Péter (Elektronmikroszkópia), szerző] Bio-nanotechnológiai és Műszaki Kémiai Kutatóin... (PE / MK); Dódony, I. [Dódony, István (Ásványtan, kristá...), szerző] Ásványtani Tanszék (ELTE / TTK / Ft_K); Radnóczi, G. ✉ [Radnóczi, György (Anyagtudomány), szerző] Vékonyrétegfizika Laboratórium (HUN-REN EK / MFA)