Dimensional Optical Metrology and Inspection for Practical Applications VI
Harding, Kevin G [szerk.]; Zhang, Song [szerk.]
Angol nyelvű Konferenciakötet (Könyv) Tudományos
Megjelent: International Society for Optics and Photonics (SPIE), Curran Associates, Bellingham (WA), Amerikai Egyesült Államok, Red Hook (NY), Amerikai Egyesült Államok, 122 p. 2017