Third International Symposium on Laser Precision Microfabrication

Angol nyelvű Konferenciakötet (Könyv) Tudományos

Megjelent: International Society for Optical Engineering (SPIE), Bellingham (WA), Amerikai Egyesült Államok 2002

Konferencia: 3rd International Symposium on Laser Precision Microfabrication 2002-05-27 [Osaka, Japán]

Sorozatok: Proceedings of SPIE 0277-786X 1996-756X, 4830

Azonosítók

MTMT: 30150652
ISBN: 0819446017

Fejezetek

Yasuda K et al. Thermal analysis and quality prediction of via hole drilled on Si device by short pulse laser. (2002) Megjelent: Third International Symposium on Laser Precision Microfabrication pp. 79-84

Hivatkozás stílusok: IEEE ACM APA Chicago Harvard CSLMásolásNyomtatás

2025-04-11 22:27