Advances in Resist Materials and Processing Technology XXVII

Somervell, MH [szerk.]; Allen, RD [szerk.]

Angol nyelvű Konferenciakötet (Könyv) Tudományos
Megjelent: International Society for Optical Engineering (SPIE), Bellingham (WA), Amerikai Egyesült Államok 2010
Konferencia: Advances in Resist Materials and Processing Technology XXVII 2010-02-22 [San Jose (CA), Amerikai Egyesült Államok]
Sorozatok: Proceedings of SPIE 0277-786X 1996-756X, 7639
    Azonosítók
    Fejezetek
    Hivatkozás stílusok: IEEEACMAPAChicagoHarvardCSLMásolásNyomtatás
    2025-04-11 23:32