mtmt
Magyar Tudományos Művek Tára
XML
JSON
Átlépés a keresőbe
In English
Photomask technology 2007
Naber, Robert J [szerk.]
;
Kawahira, Hiroichi [szerk.]
Angol nyelvű Konferenciakötet (Könyv) Tudományos
Megjelent: International Society for Optical Engineering (SPIE), Bellingham (WA), Amerikai Egyesült Államok
2007
Konferencia:
Photomask technology 2007 2007-09-18 [Monterey (CA), Amerikai Egyesült Államok]
Sorozatok:
Proceedings of SPIE 0277-786X 1996-756X, 6730
Azonosítók
MTMT: 30078692
ISBN:
9780819468871
Fejezetek
Gordon J et al. Study of time dependent 193 nm reticle haze. (2007) Megjelent: Photomask technology 2007
Hivatkozás stílusok:
IEEE
ACM
APA
Chicago
Harvard
CSL
Másolás
Nyomtatás
2025-04-14 22:21
×
Lista exportálása irodalomjegyzékként
Hivatkozás stílusok:
IEEE
ACM
APA
Chicago
Harvard
Nyomtatás
Másolás