Micromachining and Microfabrication Process Technology XIV

Perez-Maher, Mary Ann [szerk.]; Chiao, Jung-Chih [szerk.]; Resnick, Paul J [szerk.]

Angol nyelvű Konferenciakötet (Könyv) Tudományos
Megjelent: SPIE, Bellingham (WA), Amerikai Egyesült Államok 2009
Konferencia: Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology XIV 2009-01-27 [San Jose (CA), Amerikai Egyesült Államok]
Sorozatok: Proceedings of SPIE 0277-786X 1996-756X, 7204
    Azonosítók
    Szakterületek:
    • Műszaki és technológiai tudományok
    Hivatkozás stílusok: IEEEACMAPAChicagoHarvardCSLMásolásNyomtatás
    2025-04-14 22:22