Design, Test and Microfabrication of MEMS and MOEMS

Courtois, B [szerk.]

Angol nyelvű Konferenciakötet (Könyv) Tudományos
Megjelent: International Society for Optical Engineering (SPIE), Bellingham (WA), Amerikai Egyesült Államok 1999
Konferencia: DESIGN, TEST, AND MICROFABRICATION OF MEMS AND MOEMS, PTS 1 AND 2 1999-03-30 [Paris, Franciaország]
Sorozatok: Proceedings of SPIE 0277-786X 1996-756X, 3680
    Azonosítók
    Fejezetek
    Hivatkozás stílusok: IEEEACMAPAChicagoHarvardCSLMásolásNyomtatás
    2025-04-17 01:47