Aktív ernyős plazmanitridálás BIAS paramétereinek hatása a rétegszerkezetre

Szilágyiné, Biró Andrea

Angol nyelvű Tudományos PhD (Disszertáció)
Megjelent: , 102 p. 2018
    Azonosítók
    • MTMT: 27115141
    • MIDRA: 28197
    Hivatkozás stílusok: IEEEACMAPAChicagoHarvardCSLMásolásNyomtatás
    2022-01-21 17:53