Improvement of Patterning Homogeneity in a Field of Projection Exposure System Using a Gradient-Index Lens Array

Horiuchi, T; Sato, T; Kobayashi, H

Angol nyelvű Szakcikk (Folyóiratcikk) Tudományos

Megjelent: JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 0914-9244 30 (1) pp. 49-55 2017

SJR Scopus - Polymers and Plastics: Q2

Azonosítók

MTMT: 26822729
DOI: 10.2494/photopolymer.30.49
WoS: 000407658100008
Scopus: 85027276084

Idézett közlemények (1)

Hivatkozás stílusok: IEEE ACM APA Chicago Harvard CSLMásolásNyomtatás

2022-05-19 11:51