Contactless characterization of MEMS devices using optical microscopy

Timár, András [Timár, András (Elektronikus eszk...), szerző] Elektronikus Eszközök Tanszéke (BME / VIK); Bognár, György [Bognár, György (Elektronikus Eszk...), szerző] Elektronikus Eszközök Tanszéke (BME / VIK)

Angol nyelvű Tudományos Konferenciaközlemény (Könyvrészlet)
    In this paper a new approach for measuring depth values of cavities of Micro-Electro Mechanical System (MEMS) is presented. This measurement was done by using a simple optical microscope and image processing techniques. The sample need not to be treated with any foreign material such as reflective or conductive coating.
    Hivatkozás stílusok: IEEEACMAPAChicagoHarvardCSLMásolásNyomtatás
    2021-03-05 05:48