Simulation of Comb Drive for Fracture Lifetime Measurements

G., Somlay [Somlay, Gergely László (elektronika), szerző] Elektronikus Eszközök Tanszéke (BME / VIK); Z., Szűcs [Szűcs, Zoltán (elektronika), szerző] Elektronikus Eszközök Tanszéke (BME / VIK); A., Poppe [Poppe, András (Mikroelektronika), szerző] Elektronikus Eszközök Tanszéke (BME / VIK); M., Rencz [Kerecsen Istvánné Rencz, Márta (Mikroelektronika), szerző] Elektronikus Eszközök Tanszéke (BME / VIK)

Angol nyelvű Tudományos Konferenciaközlemény (Egyéb konferenciaközlemény)
Megjelent: COMSOL Users Conference 2007. (2007) Paper: Available online only , 5 p.
    Azonosítók
    In this work, a finite element analysis is used to simulate electrostatically actuated comb drives operating under DC conditions (zero actuating frequency). A dynamic multiphysics model is developed using the arbitrary Lagrangian-Eulerian (ALE) formulation. The results show the coupled interaction between the electrostatic and mechanical domains of the transducer. The analysis is based on the evolution of electrostatic force versus comb finger engagement. With the help of numerical simulations, an optimum design was found for a comb drive reliability test structure with a well-defined part exposed to fatigue.
    Hivatkozás stílusok: IEEEACMAPAChicagoHarvardCSLMásolásNyomtatás
    2022-01-23 12:19