Laser-induced front side etching of fused silica with short and ultrashort laser pulses

Lorenz, P; Ehrhardt, M; Zimmer, K

Angol nyelvű Konferenciaközlemény (Könyvrészlet) Tudományos
Megjelent: Hennig Guido. Laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing (LAMOM) XVII. (2012) ISBN:9780819488862 Paper: 82430Y
    Azonosítók
    Idézett közlemények (1)
    Hivatkozás stílusok: IEEEACMAPAChicagoHarvardCSLMásolásNyomtatás
    2025-04-27 11:16