CMOS integrated tactile sensor array by porous Si bulk micromachining

Adam, M [Ádám, Antalné (mfa), szerző] MTA KFKI Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kuta...; Mohacsy, T [Mohácsy, Tibor (mfa), szerző] MTA KFKI Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kuta...; Jonas, P; Duecso, C [Dücső, Csaba (MEMS), szerző] MTA KFKI Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kuta...; Vazsonyi, E [Vázsonyi, Éva (mfa), szerző] MTA KFKI Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kuta...; Barsony, I [Bársony, István (Mikro/nanoelektro...), szerző] MTA KFKI Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kuta...