Paul L. Multiple beam transmission interferometric testing methods for the development and evaluation of subwavelength sized features within semiconductor and anisotropic devices. (2016) 9250064 B2 Amerikai Egyesült Államok
[Idézéskapcsolat:25973097]

Rekordtípus
Citation
MTMT azonosító
25973097
Státusz
Nyilvános
Nyilvános
Igen
Aktív cédulák
0
Régi időbélyeg
2016-08-02T14:57:28.000+0000
Törölt
Nem
Régi azonosító
15973097
Utolsó módosítás
2016-08-02T14:57:28.000+0000
Létrehozás dátuma
2016-08-02T14:57:21.000+0000
Közlemény
Bányász I et al. Holography and holographic interferometry at 780 nm in a photopolymer material. (1997) JOURNAL DE PHYSIQUE III. APPLIED PHYSICS MATERIALS SCIENCE FLUIDS PLASMA AND INSTRUMENTATION 1155-4320 7 1 211-222
Közlemény MTMT azonosítója
1230885
Kapcsolódó cikk
Paul L. Multiple beam transmission interferometric testing methods for the development and evaluation of subwavelength sized features within semiconductor and anisotropic devices. (2016) 9250064 B2 Amerikai Egyesült Államok
Idézőközlemény MTMT azonosítója
25973097
Eredet
kézi felvitel
Független
Igen
Független OK
Link
/api/citation/25973097
Címke
Paul L. Multiple beam transmission interferometric testing methods for the development and evaluation of subwavelength sized features within semiconductor and anisotropic devices. (2016) 9250064 B2 Amerikai Egyesült Államok
2020-09-30 09:07