Paul L. Multiple optical wavelength interferometric testing methods for the development and evaluation of subwavelength sized features within semiconductor devices and materials, wafers, and monitoring all phases of development and manufacture. (2014) US8879071 B2 Amerikai Egyesült Államok
[Idézéskapcsolat:24910572]

Rekordtípus
Citation
MTMT azonosító
24910572
Státusz
Nyilvános
Nyilvános
Igen
Aktív cédulák
0
Régi időbélyeg
2015-07-11T17:57:18.000+0000
Törölt
Nem
Régi azonosító
14910572
Utolsó módosítás
2015-07-11T17:57:18.000+0000
Létrehozás dátuma
2015-07-11T17:57:10.000+0000
Közlemény
Bányász I et al. Holography and holographic interferometry at 780 nm in a photopolymer material. (1997) JOURNAL DE PHYSIQUE III. APPLIED PHYSICS MATERIALS SCIENCE FLUIDS PLASMA AND INSTRUMENTATION 1155-4320 7 1 211-222
Közlemény MTMT azonosítója
1230885
Kapcsolódó cikk
Paul L. Multiple optical wavelength interferometric testing methods for the development and evaluation of subwavelength sized features within semiconductor devices and materials, wafers, and monitoring all phases of development and manufacture. (2014) US8879071 B2 Amerikai Egyesült Államok
Idézőközlemény MTMT azonosítója
24910572
Eredet
kézi felvitel
Független
Igen
Független OK
Link
/api/citation/24910572
Címke
Paul L. Multiple optical wavelength interferometric testing methods for the development and evaluation of subwavelength sized features within semiconductor devices and materials, wafers, and monitoring all phases of development and manufacture. (2014) US8879071 B2 Amerikai Egyesült Államok
2020-09-19 15:23